从全能学霸到首席科学家正文卷第二百三十八章舌战群儒老人开口道:“各位尊敬的科学家,上午好,大家时间都很宝贵,我也就长话短说,简单谈一谈本场会议的目的。”
“近年来,我们一直在往半导体产业链进行发展,到了今天也有了一定丰硕的成果,前段时间,在林晓先生的主导下,我们先后在多个技术上都实现了突破,特别是硅晶圆生产技术得到了重大突破,达到了世界一流的程度。”
说到这,他朝林晓点点头,随后继续道:“半导体技术的研究是重中之重,未来我们也需要在这个技术上实现更多的创新。”
“现在,大家可以谈谈自己的看法,谈谈你们各方技术有哪些新的突破,讨论一下我们接下来应该往哪个方向发展。”
随着老人的话说完,在场的人便开始议论起来。
半晌后,华芯国际的专家举起了手,说道:“近期以来,我们在芯片生产工艺上实现了一次关键性的突破,距离12nm制程又近了一步,这一方面我们需要更多的研发投入。”
“我认为,我们在生产工艺上还是要加大投入,毕竟造出我们自己的光刻机仍然还遥遥无期,还不如先想办法怎么将duv光刻机钻研到极限。”
这话一说出来,其他人就不愿意了。
比如电科集团、常春光机所、魔都微电子,这三家都是接到了研发光刻机任务的,华芯国际提倡要大力搞生产工艺,他们当然就不愿意了。
于是这三家公司立马就表示了反对。
“搞不出来就不搞?你也不看看咱们现在因为没有搞这些东西都损失多少了。”
“你说搞生产工艺,也没见你们搞定多少啊?人家台积电别说14nm了,12nm、10nm的工艺都有,不求你们跟上7nm,但好歹也不至于落后这么多代吧?”
……
双方说的话都很不客气,自然而然的,就直接开始吵了起来。
当然,毕竟是这种场合,他们吵起来也都是指责对方在技术发展上的问题。
不过他们吵的时候,又有人表示:“我觉得,我们是不是应该在材料上再下点功夫?”
在场的人还是有不少是生产材料的,听到有人提到这一点,顿时就纷纷附和起来。
“对,材料上应该也需要着重发展!”
会议室中再一次多出了一个声音。
这就是半导体产业链,每一环都紧密相连,每一环之间都有着较大的技术壁垒。
就在这些人争论的时候,忽然有人拍了拍手,众人看去,正是马局长。
对于这位科技局局长,在座的人们都还是有保持着尊敬的态度的,于是乎也都安静了下来,等待他说话。
马高亮则只是笑了笑,然后说道:“大家说的都很有道理,不过大家也知道,咱们想要跟上国外,各个环节也都还相差甚远,现在咱们也就只是在硅晶圆生产这上面来到了世界一流的地位。”
“所以我想,咱们要不要先听听林教授的看法?”
听到这,在场的专家们都安静了下来。
不管如何,光凭林晓最近的这个成就,也值得他们认真对待一下。
于是所有人都将目光看向了坐在前面的林晓。
而林晓对于突然轮到自己讲话感到有些意外,不过,他早就准备着要分享一下他的想法了,所以他丝毫不着急。
身体坐好,他先朝右手边的老人微微一笑,然后重新转头看向了在场的人们,随后道:“我的看法,就是两手都要抓,两手都要硬。”
“当然,这句话用到整个产业链中,就是整条产业链,都要抓牢。”
在场的人顿时都是一愣,
林晓的意思是?
他觉得所有的方向都要发展?
在场的人们都不由摇摇头,他们还以为林晓能说出什么让人眼前一亮的想法呢,结果现在这么说,在所有人看来明显就是那种谁都不想得罪,保持中庸的态度。
不过,林晓真的是这个打算吗?
说完这句话后,他站了起来。
“半导体行业是一个完整的产业链,产业链中的每一个部分都占据着十分重要的作用,而我们既然有我们特殊的体制,我们可以形成一盘棋来进行,那么,我觉得应该组成一个半导体产业联盟,集中调配各方资源,来更好地发展我们的整个产业。”
“而现在,我们的硅晶圆生产已经完成了突破,同时,因为编码器八分结构的出现,我们的精密加工技术也得到了一次突破,而剩下的,就是继续更加深入的去挖掘。”
“在这里,我首先对光刻机所要用到的光学镜片生产技术如何实现突破,进行一个简单的讲述。”
说到这,林晓朝罗刚宪微微一笑,罗刚宪却是一愣,林晓要说他们的光学镜片?
林晓说道:“如何让光学镜片更加精密,无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪,找到这些凸起的粒子,接下来针对这些凸起粒子的凸起量,我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子,然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来,我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法,罗刚宪便忍不住说道:“这……这应该做不到吧?激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据,我们只能进行统计,但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊!而且,硅原子半径都经到100多皮米了,直径等于两百多皮米,而我们需要的是100皮米以下的级别,如果是离子轰击,直接把表面原子给轰击掉了,留下的可能就是一个一百多皮米的坑,这样还是达不到光刻机镜片的要求!”
林晓说的确实是一个很好的方法,但这是从理论上来说,他作为专业的,心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑,说道:“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊,罗院士。”
“我说的是‘敲平’!”
“我们只需要就算好轰击角,控制住水平和垂直上的分力,我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且,我们所谓的原子半径,其实只是原子轨道半径而已,在受力范围上,它们可不是一个球,用离子束去轰击,也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术,使用的是氩等离子体,在轰击的时候,我们考虑其电荷量,就能够实现了。”
听到这,罗刚宪顿时感到不可思议,这么说的话,似乎真的可行?
但是经过片刻的思考后,微微摇头道:“这做不到吧,这在数学上无法实现!你怎么计算出轰击角?”
林晓却是一笑:“只是一道数学问题而已,我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题?
而已?
他不知道怎么说了,但是看着林晓的样子,他却找不到继续质疑的理由。
似乎,真的可以这么做?
如果他们能够计算出离子束轰击角,似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去?
其实,这就类似于一种离子抛光技术,只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术,他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题,最重要的可不就是数学问题?
想到这,他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓,站起来说道:“林教授,你说服了我,我们合作吧。”
林晓笑了笑,说道:“当然可以,只不过……”
他看了一眼在场的所有人,说道:“各位,我刚才说了,我们要成立一个联盟,所以,我想和你们所有人一起合作。”
“而你们在技术上遇到的问题,都可以来找我合作研究。”
听到这,在场的人顿时都瞪大了。
林晓这话,是打算把他们所有人背后所代表的机构企业拉到一起?
他甚至还说,技术上遇到了问题,都可以去找他合作?
虽然林晓解决了cmp材料技术,还有硅晶圆提纯技术,甚至还在编码器精度上实现了重大突破,完全可以称之为全能性人才。
但是他们在场的那么多行业,林晓如何做到全能?
有人立马表示了反对:“林教授,你的提议很不错,但是你知道极紫外光光源问题如何解决吗?这是我们想问你的第一个问题。”
林晓一笑:“极紫外光光源,用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上,退激产生极紫外光,而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点,我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率,实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率,就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率,这一点需要数学计算和实验验证,数学方面的问题,对我来说同样不是问题,所以你们和我合作之后,我们同样也有机会实现突破。”
“另外,还有我们对euv光的采集效率,这一点,只要能够实现我刚才所说的对镜片的更精密加工,我们采集效率完全可以再次增大,进而提高功率。”
听到林晓的回答,那个反对的人又是哑口无言,因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话,他们的问题是不是真的能够得到解决?
而这时候,又有人提问了:“林教授,光路系统呢?”
林晓再一次笑道:“光路系统,首先是我们的精密控制领域需要突破,而我相信,现在我们已经有这样的机会了。”
“接下来还是一个数学问题,相信我,只要涉及到了数学问题,都不是问题。”
在场的人都不知道说什么了。
数学问题?
他们的这些问题,除了材料问题、精密加工问题,剩下的可不就是数学问题吗?
许多人都不知道再去怎么问了。
当然,那些研究材料的人就有话说了:“我们光刻胶呢?”
林晓说道:“cmp抛光材料,我花了两个月的时间就给解决了,其他的材料虽然我不敢保证,但是说不定我运气好之下,就也解决了呢?”
“啊这……”
“林教授,还有我们……”
……
林晓一个个的进行着回答,同时也一个个地将他们说服。
就如同舌战群儒一般。
成立这样一个联盟的想法,他早就有了。
而如今,他在半导体上的成就,让他有了这样的荣誉去提起这件事情。
今天这场会议,正好给了他提出这个想法的机会。
就这样,在场的人在他的话语中,脸上都露出了意动的表情。
似乎都被他说服了。
见到这一幕,林晓宋目光认真地道:“我不是想要抢各位的东西,只是觉得我们有必要建立起这样的一个联盟,更好地调动我们资源。”
“朋友们,我们距离国外还有差距,合作是更加应该的。”
“在这里,我不希望和大家争论。”
“同时,也请大家相信我,我也有这个信心。”
会议室中安静了片刻。
光电所所长,罗刚宪院士说道:“我同意。”
有了人开头,原本还摇摆不定的其他人,也纷纷说道:“我们也同意。”
“同意。”
这件事情,对他们也没有利益上的影响,只是嫌麻烦,不认为加入之后对他们有什么意义。
但现在,林晓已然说服了他们。
而见到这些人居然真的都同意了,马高亮忍不住看向林晓,目光中多出了佩服。
能够说服这么多人的,恐怕也只有林晓有这个能力。
而那位一直没有说话的老人,看着林晓的目光中也多出了许多的欣赏。
而后,他说道:“很好,各位能够实现合作,我很高兴,那么,我就作为一个见证者,为你们的这个联盟起个名吧。”
听到老人的话,林晓笑道:“这当然最好了。”
老人笑道:“那就叫华芯盟好了,简单直接一点。”
“另外,林教授,在之后如果有什么需要,联系高亮就行,我让他全力配合你们。”
“好!”
林晓重重点头。
……
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